氦质谱检漏仪吸嘴法
用于真空残余气体分析的质谱仪都可以用来检漏（其示漏物质有氢、氦、氩等），但检漏灵敏度各不相同。专门用来检漏的质谱仪叫质谱检漏仪。其特点是灵敏度高，性能稳定。特别是用氦做示漏气体的氦质谱检漏仪，是真空检漏中灵敏度最高、用得最普遍的一种检漏仪器。

图5.6吸嘴法检漏

  氦质谱检漏仪的灵敏度，即最小可检泄漏率，就是在仪器处于最佳工作条件下，以0.1MPa的1%的氦和99%的氮为示漏气体，进行动态检漏时所能检出的最小漏孔的泄漏率。所谓“最佳工作条件”系指被检件出气很少，且没有较大漏孔，同时仪器本身的参数是调整到最佳工作状态等条件；所谓“动态检漏”即指检漏时不用累积法，检漏仪本身的真空系统仍在正常抽气，仪器的反应时间不大于3s（其中真空系统的时间常数不大于1s）等情况；所谓“最小可检”是指信号是本底噪音的两倍；所说的“泄漏率”系指0.1MPa的干燥空气通过漏孔漏向真空端（压力远比0.1MPa低）的泄漏率。氦质谱检漏仪吸嘴法的灵敏度约为10-9cm3/s。
 

响应时间  这种方法的响应时间约为2～3s，它主要包括两个方面：一是检漏器本身的响应时间；另一个是泄漏的氦气被吸入到检漏仪的响应时间。
各厂家生产的氦质谱检漏仪本身的响应时间基本相同。检测部分抽真空用真空泵的排气速度对响应时间影响很大。排气速度越小，氦气就越容易积蓄在被检件内，从而缩短响应时间。氦气从泄漏点流到吸入孔需要一定的时间，通常为1s左右。
泄漏点的判断  使用这种检漏仪，吸嘴（探头）要以2～5m/min的缓慢速度沿被检件表面移动。若有泄漏，可以看到仪表指针摆动，也可以听到振荡器的声音发生变化，由此可判断出泄漏点或附近有泄漏。检测时可使吸嘴离开可疑的地方，信号恢复到原始状态。稍等一会（通常为2～5s）后，再将吸嘴靠近可疑的地方。重复上述操作几次，就可以准确判断出泄漏点，精度大约可达1mm。